第八十四章 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件

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8486302100

制造平板显示器用化学气相沉积装置(CVD)

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8486301000

制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备

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8486209000

其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置

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8486205000

制造半导体器件或集成电路用离子注入机

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8486303900

其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置(制造平板显示器用的机器及装置)

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8486303100

制造平板显示器用分步重复光刻机

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8486302900

其他制造平板显示器用薄膜沉积设备

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8486302200

制造平板显示器用物理气相沉积装置(PVD)

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8486304900

其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置

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8486304100

制造平板显示器用超声波清洗装置

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8486402200

引线键合装置(主要用于或专用于装配与封装半导体器件和集成电路的设备)

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8486402100

塑封机(主要用于或专用于装配与封装半导体器件和集成电路的设备)

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8486401000

主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置(掩膜版(mask),投影掩膜版(reticle))

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8486309000

其他制造平板显示器用的机器及装置

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8486403100

IC工厂专用的自动搬运机器人

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8486402900

其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备

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8486909100

带背板的溅射靶材组件

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8486902000

引线键合装置用零件或附件(子目848640项下商品用)

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8486901000

升降、搬运、装卸机器用零件或附件(子目848640项下商品用,但自动搬运设备用除外)

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8486403900

其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备(升降、装卸、搬运单晶柱、晶圆、半导体器件、集成电路和平板显示器的装置)

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8487100000

船用推进器及桨叶

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8486909900

其他品目8486项下商品用零件和附件

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8487900000

本章其他编号未列名的机器零件(不具有电气接插件、绝缘体、线圈或其他电气器材特征的)

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